Неравновесная плазма хлора. Свойства и применение. Александр Михайлович ЕфремовХимия. Фундаментальная и прикладная физика
- Название
- Неравновесная плазма хлора. Свойства и применение
- Автор:
- Александр Михайлович Ефремов
- Серия:
- Фундаментальная и прикладная физика
- Жанр:
- Химия
- Год выпуска:
- 2013
- isbn:
- 978-5-9221-1406-6
- Аннотация:
- В книге рассмотрены результаты экспериментального и теоретического исследования кинетики и механизмов физико-химических процессов в неравновесной низкотемпературной плазме хлора и его смесей с инертными и молекулярными газами. Проанализировано влияние внешних параметров разряда на энергетическое распределение электронов, транспортные и кинетические характеристики электронного газа. Проведен анализ кинетики нейтральных и заряженных частиц; установлены взаимосвязи задаваемых параметров плазмы и начального состава плазмообразующих смесей со стационарными концентрациями активных частиц и плотностями их потоков на поверхность, ограничивающую зону плазмы. Приводятся результаты исследований кинетических закономерностей и механизмов взаимодействия активных частиц плазмы с рядом металлов и полупроводников. Книга предназначена научно-техническим работникам в области неравновесной плазмохимии и плазмохимической технологии, а также студентам и аспирантам соответствующих специальностей.