Конструирование и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы. Учебник для СПО. Александр Сергеевич Сигов. Профессиональное образование
- Название
- Конструирование и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы. Учебник для СПО
- Автор:
- Александр Сергеевич Сигов
- Серия:
- Профессиональное образование
- Жанр:
- Год выпуска:
- 2025
- isbn:
- 9785534197709
- Аннотация:
- Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры – технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки.