Конструирование и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии. Учебник для СПО. Александр Сергеевич Сигов. Профессиональное образование
- Название
- Конструирование и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии. Учебник для СПО
- Автор:
- Александр Сергеевич Сигов
- Серия:
- Профессиональное образование
- Жанр:
- Год выпуска:
- 2025
- isbn:
- 9785534197860
- Аннотация:
- В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) – электронных проборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, микроэлектромеханических систем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытий и других, где в качестве основного инструмента используются ионно-плазменные потоки и пучки ускоренных ионов. Рассмотрено технологическое оборудование и оснастка, включая генерирование, ускорение и управление потоками ионов.