Физические основы кремниевой наноэлектроники. Учебное пособие. Г. И. ЗебревТехническая литература. Нанотехнологии
- Название
- Физические основы кремниевой наноэлектроники. Учебное пособие
- Автор:
- Г. И. Зебрев
- Серия:
- Нанотехнологии
- Жанр:
- Техническая литература
- Год выпуска:
- 2012
- isbn:
- 978-5-9963-2630-3
- Аннотация:
- Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро– и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектронные технологии», «Физика микроэлектронных структур».