Зондовые нанотехнологии в электронике. Владимир НеволинТехническая литература. Мир электроники
- Название
- Зондовые нанотехнологии в электронике
- Автор:
- Владимир Неволин
- Серия:
- Мир электроники
- Жанр:
- Техническая литература
- Год выпуска:
- 2014
- isbn:
- 978-5-94836-382-0
- Аннотация:
- Прогресс в микроэлектронике связывают с уменьшением линейных размеров функциональных элементов. Если их размеры становятся порядка нанометров, то существенными являются квантовые эффекты, принципиально меняющие физику работы. Созданием таких элементов и интегральных квантовых схем на их основе занимается нанотехнология. В монографии изложены физические основы зондовой нанотехнологии на базе сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов, показаны основные достижения, обсуждаются проблемы, требующие решения. Предназначена для студентов старших курсов, аспирантов и молодых ученых, желающих познакомиться с новым научным направлением и попробовать свои силы в развитии технологии ХХI века.