Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие. А. И. МочаловТехническая литература. Нанотехнологии
- Название
- Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие
- Автор:
- А. И. Мочалов
- Серия:
- Нанотехнологии
- Жанр:
- Техническая литература
- Год выпуска:
- 2013
- isbn:
- 978-5-9963-2129-2
- Аннотация:
- В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро– и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.