Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии. Учебник для бакалавриата и магистратуры. Александр Сергеевич СиговУчебная литература. Университеты России
- Название
- Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии. Учебник для бакалавриата и магистратуры
- Автор:
- Александр Сергеевич Сигов
- Серия:
- Университеты России
- Жанр:
- Учебная литература
- Год выпуска:
- 2016
- isbn:
- 978-5-9916-7153-8
- Аннотация:
- В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) – электронных проборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, микроэлектромеханических систем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытий и других, где в качестве основного инструмента используются ионно-плазменные потоки и пучки ускоренных ионов. Рассмотрено технологическое оборудование и оснастка, включая генерирование, ускорение и управление потоками ионов. Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектирование и технология радиоэлектронных средств» и «Электронные приборы», может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.